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磨抛一体机 MP
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 500元/小时
预约上机
  • 500 小时
委托加工
  • 700 小时
附加收费说明

材料费

微纳加工

磨抛一体机 MP

型号：PM6

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

主要用于InP和GaAs等材料晶圆的研磨抛光。

技术指标
1、样品尺寸：3英寸向下兼容
2、粗糙度Ra：＜0.5nm
3、TTV：±5μm
4、研磨速率：InP≤3μm/min
5、抛光速率：InP≤0.2μm/min
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