工艺设备列表

提供先进的第三代半导体器件工艺加工设备

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步进式光刻机 Stepper
步进式光刻机 Stepper

光刻

2000.0元/小时
接触式光刻机 Aligner（MA6）
接触式光刻机 Aligner（MA6）

光刻

1000元/小时（0.5h起约）
接触式光刻机 Aligner（MA8）
接触式光刻机 Aligner（MA8）

光刻

800元/小时（0.5h起约）
接触式光刻机 Aligner（EVG）
接触式光刻机 Aligner（EVG）

光刻

600元/小时
接触式光刻机 Aligner（URE）
接触式光刻机 Aligner（URE）

光刻

600元/小时
全自动匀胶显影机 ACD
全自动匀胶显影机 ACD

光刻

500元/小时
手动匀胶机 SC
手动匀胶机 SC

光刻

200元/小时
HMDS涂胶机
HMDS涂胶机

光刻

50元/小时