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设备介绍

AC-EDS 球差校正EDS（原子分辨）

球差-EDS/元素分析

主要功能

原子级EDS元素分析

技术指标
超高分辨率EDS分析
应用领域

原子尺度成分分析

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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