测试设备服务

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FIB-SEM 高阶FIB（双束聚焦离子束）

切割：TEM样品制备

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FIB-TEM 高阶FIB（TEM平面样品）

切割：TEM平面样品制备

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FIB-CROSS 高阶FIB（器件横截面）

切割：器件横截面/SEM/SEM-EDX

 按时 ¥2500.0 /小时 详情
P-FIB P-FIB（等离子聚焦离子束）

等离子聚焦离子束切割

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PIPS PIPS（精密离子抛光系统）

抛光：机械减薄+Ar+离子减薄

 按样 ¥2000.0 /样 详情
ILION ILion+（离子研磨系统）

抛光：器件横截面

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TEM-Talos Talos TEM（透射电镜）

Talos TEM测试

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STEM-EDS Talos STEM/EDS

Talos STEM/EDS测试

 按时 ¥2500.0 /小时 详情
TEM-MAP Talos EDS Mapping

Talos能谱MAPPING

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STEM-AC 球差校正STEM（原子分辨）

球差-STEM/原子分辨晶格像

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AC-EDS 球差校正EDS（原子分辨）

球差-EDS/元素分析

 按时 ¥4000.0 /小时 详情
AC-EELS 球差校正EELS

球差-EELS电子能量损失谱

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SIMS D-SIMS（二次离子质谱）

掺杂和组分的深度分析

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TOF-SIMS Tof-SIMS（飞行时间二次离子质谱）

表面定性元素分析

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TOF-DEPTH Tof-SIMS深度扫描

Tof-SIMS深度扫描

 按时 ¥2000.0 /小时 详情
XPS XPS（X射线光电子能谱）

表面元素及化学态分析

 按时 ¥1500.0 /小时 详情
UPS UPS（紫外光电子能谱）

价带结构分析

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AES AES（俄歇电子能谱）

表面元素分析

 按时 ¥1500.0 /小时 详情
GDMS GDMS（辉光放电质谱）

高纯材料杂质分析

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XRF XRF（X射线荧光光谱）

元素成分分析

 按时 ¥800.0 /小时 详情
TXRF TXRF（全反射X射线荧光）

表面痕量元素分析

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ICPMS ICP-MS（电感耦合等离子质谱）

液体样品元素分析

 按样 ¥600.0 /元素 详情
VPD-ICPMS VPD-ICPMS（气相分解-ICPMS）

硅片表面金属污染检测（6寸标准片）

 按样 ¥4000.0 /样 详情
HR-XRD-H HR-XRD（机时）

XRR、RSM等复杂测试

 按时 ¥600.0 /小时 详情
RSM-FAST RSM（倒易空间图-普图）

RSM倒易空间图（快速扫描）

 按样 ¥1500.0 /图 详情
RSM-FINE RSM（倒易空间图-精细）

RSM倒易空间图（精细扫描）

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XRD-POWDER 粉末XRD

粉末样品物相分析

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XRT XRT（X射线形貌术）

晶体缺陷评估、位错成像

 按时 ¥4000.0 /小时 详情
HALL-RT 常温Hall测试

方块电阻、载流子浓度、迁移率

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HALL-VT 变温Hall测试

变温电学参数测试

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RES-NC 非接触方阻测量

方块电阻、电阻率（非接触）

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HALL-NC 非接触Hall测试

非接触式Hall测试（默认5点）

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HIGH-R 高阻测试

高阻材料电阻测量

 按样 ¥1000.0 /片 详情
MCV MCV（汞探针CV）

掺杂浓度分析（≤6寸）

 按样 ¥800.0 /片 详情
ECV ECV（电化学CV）

电化学腐蚀CV（砷化镓、磷化铟）

 按时 ¥700.0 /小时 详情
IVCV I-V/C-V测试（标准）

Keysight 4200-1500 I-V/C-V测试

 按时 ¥600.0 /小时 详情
IVCV-HV 高压I-V/C-V测试

Keysight 1505高压I-V/C-V测试

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SEM SEM（扫描电镜）

表面电子成像

 按时 ¥750.0 /小时 详情
SEM-MAP SEM-EDS Mapping

EDS-Mapping显微微区元素分析

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CL-EBIC CL/EBIC（阴极荧光/电子束诱导电流）

常温阴极荧光/电子束诱导感生电流

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EBSD EBSD（电子背散射衍射）

晶体取向分析

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AFM AFM（原子力显微镜）

表面形貌像-粗糙度

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AFM-H AFM（机时）

AFM高级模式

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PFM PFM（压电力显微镜）

压电响应成像

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KPFM KPFM（开尔文探针力显微镜）

表面电势分布成像

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EFM EFM（静电力显微镜）

表面静电力分布成像

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CAFM CAFM（导电原子力显微镜）

局域电流分布成像

 按样 ¥3000.0 /样/图 详情
SCM SCM（扫描电容显微镜）

载流子浓度分布成像

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SSRM SSRM（扫描扩展电阻显微镜）

扩展电阻分布成像

 按样 ¥3000.0 /样/图 详情
STRESS 薄膜应力/翘曲测试

薄膜应力、晶圆翘曲测量

 按样 ¥1000.0 /片/模式 详情
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