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设备介绍

GDMS GDMS（辉光放电质谱）

高纯材料杂质分析

主要功能

体材料杂质元素分析

技术指标
检测限可达ppb级
应用领域

高纯半导体材料分析

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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