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设备介绍

TXRF TXRF（全反射X射线荧光）

表面痕量元素分析

主要功能

表面痕量金属污染分析

技术指标
检测限可达10^9 atoms/cm²
应用领域

硅片表面金属污染检测

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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