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设备介绍

HR-XRD-H HR-XRD（机时）

XRR、RSM等复杂测试

主要功能

XRR镜面反射、RSM倒易空间图、面内小角衍射

技术指标
配备多种光学附件
应用领域

薄膜结构完整表征

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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