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设备介绍

RSM-FAST RSM（倒易空间图-普图）

RSM倒易空间图（快速扫描）

主要功能

倒易空间快速扫描

技术指标
快速扫描模式
应用领域

外延层应变状态分析

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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