设备介绍
FIB-SEM 高阶FIB（双束聚焦离子束）
切割：TEM样品制备
主要功能
TEM样品制备、器件横截面制备、SEM/SEM-EDX分析
技术指标
具备电子束和离子束双束系统
应用领域
半导体器件截面分析、TEM样品制备
咨询与预约
江苏第三代半导体研究院有限公司
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