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设备介绍

XRT XRT（X射线形貌术）

晶体缺陷评估、位错成像

主要功能

晶体缺陷评估、位错图像

技术指标
Lang相机，多种成像模式
应用领域

单晶缺陷分析

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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