XRT XRT（X射线形貌术）

晶体缺陷评估、位错成像

主要功能

1. 反射形貌像：表征晶圆近表面（5~30 μm）的缺陷信息； 2. 透射形貌像：表征整个晶圆埋藏于体材料内的晶体缺陷； 3. 截面形貌像：表征整个晶圆中晶体缺陷的深度方向分布； 4. 3D截面像：晶体缺陷的3D图像

设备适用于硅、锗、金刚石、蓝宝石、SiC、GaAs、AlN、GaN、Ga2O3、InP、铌酸盐、石英等单晶材料。 缺陷检测能力：线、面、体缺陷均可检测，可获得整个晶圆表面/体内缺陷类型、分布、密度等信息，用于晶体缺陷评估，反馈晶体生长条件。