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设备介绍

ECV ECV（电化学CV）

电化学腐蚀CV（砷化镓、磷化铟）

主要功能

电化学腐蚀掺杂剖面

技术指标
适用于GaAs、InP
应用领域

III-V族材料掺杂分析

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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