普通I-V测量，0.1fA-100 mA;1μV-200 V；5SMUs，电压测量范围为1mV-200V，电压测量最小分辨率为1mV，电流测量范围为0.1fA-100mA（高功率可到1A）。
电流测量最小量程为1Pa，在最小量程上的电流测量最小分辨率为0.1fA，精度10fA，该SMU的最小脉冲工作时间为5ms，额定功率：2W（中功率SMU）；20W（高功率SMU）。
普通C-V测量，扫描电压范围0~±40V，可变频率范围：20Hz—2MHz。