Keysight 1505高压源表
（1）高压SMU模块:电压范围:3000V；电流范围:10mA；电流测量分辨率:≤10fA@±1nA 范围:4.电压测量分辨率:≤200uV@±200V。
（2）最大电压 SMU: 3000 V/4mA(脉冲和直流);
（3）超强电流单元 UHCU:500A/60V(脉冲)
（4）CV 测试频率 1kHz 至5MHz，偏置电压0至3000V
（5）大电流 SMU 模块:电流范围: 20A(脉冲模式)；电压范围:40V；电压测量分辨率:≤200nV@±0.2V。
（6）中电流 SMU 模块:电流范围:1A(脉冲模式)；最大电压:30V；电压测量分辨率:≤200nV@±0.2V。
（7）支持 3kV/20A的on-wafer I-V 曲线测试。
（8）系统支持的脉冲测试时最小脉宽≤10us(电流范围 1A)。
（9）电容 C测量精度:≤0.1% (测试条件:频率 100kHz，电容值 1nF)。