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设备介绍

FIB-TEM 高阶FIB（TEM平面样品）

切割：TEM平面样品制备

主要功能

TEM平面样品制备

技术指标
高精度平面样品制备
应用领域

薄膜材料平面方向TEM分析

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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