设备介绍
SEM SEM（扫描电镜）
表面电子成像
主要功能
日立Hitachi SU8600是一款高性能冷场发射扫描电子显微镜。核心功能包括：亚纳米级超高分辨率表面形貌观察（二次电子像SE）、低电压模式下对不导电及电子束敏感样品的高质量成像，以及配备能谱仪（EDS）实现微区元素定性与半定量分析和电子束感生电流（EBiC）成像可以用来进行器件或集成电路中PN结的定位和损伤研究以及载流子扩散长度的测试。
技术指标
分辨率：0.6 nm(15 kV)，0.7 nm（1 kV减速模式）
放大倍率：20X - 2 000 000X
加速电压：0.5 kV – 30 kV，着陆电压：0.01-20 kV
样品仓最大兼容6 inch（直径150 mm）大尺寸样品；样品台倾斜角-5°~+70°，可多角度观察
探测器系统：上/下/顶探测器（UD/LD/TD），支持SE/BSE信号混合成像
配套附件：能谱仪（EDS） ：有效面积70 mm²，元素分析范围Be4～Am95
放大倍率：20X - 2 000 000X
加速电压：0.5 kV – 30 kV，着陆电压：0.01-20 kV
样品仓最大兼容6 inch（直径150 mm）大尺寸样品；样品台倾斜角-5°~+70°，可多角度观察
探测器系统：上/下/顶探测器（UD/LD/TD），支持SE/BSE信号混合成像
配套附件：能谱仪（EDS） ：有效面积70 mm²，元素分析范围Be4～Am95
应用领域
半导体材料或者器件的表面/截面形貌观察：采用低电压进行扫描，能有效减少样品表面的充电效应，特别适用于对绝缘材料（SiO2，SiN等）的观察；对于4inch，6inch晶圆片不破坏可以直接观测； 纳米材料：纳米颗粒、石墨烯、碳纳米管、电池材料、催化剂的形貌与元素分布研究； 失效器件分析；
咨询与预约
江苏第三代半导体研究院有限公司
中国江苏苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城东北区38栋
电话：15111145911
网址：www.iasemi.cn