设备介绍
SEM-MAP SEM-EDS Mapping
EDS-Mapping显微微区元素分析
主要功能
能量色散X射线能谱仪（EDS）其核心功能是检测样品在电子束激发下产生的特征X射线，实现对材料微区（微米至纳米尺度）的元素种类鉴定（定性分析）与含量测定（定量分析）。配备在Hitachi SU8600冷场扫描电镜上，可同时获取样品的微观形貌与对应区域的元素分布信息（面分布图）
技术指标
能谱分析探测器：厂家EDAX，分析型SDD硅漂移电制冷探测器，有效面积70mm2，氮化硅超薄窗;
元素分析范围：Be4～Am95；
重元素能量分辨率：Mn Kα保证≤127eV；
软件系统：APEX™ EDS软件，支持智能峰识别、面分布分析及材料谱图数据库
元素分析范围：Be4～Am95；
重元素能量分辨率：Mn Kα保证≤127eV；
软件系统：APEX™ EDS软件，支持智能峰识别、面分布分析及材料谱图数据库
应用领域
材料科学与冶金：金属、合金、陶瓷、高分子、复合材料的成分表征、夹杂物分析、相分布研究及失效分析 半导体与电子：芯片、LED、PCB的微区成分分析、缺陷检测、镀层厚度与成分测定
咨询与预约
江苏第三代半导体研究院有限公司
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网址：www.iasemi.cn