设备介绍
CL-EBIC CL/EBIC（阴极荧光/电子束诱导电流）
常温阴极荧光/电子束诱导感生电流
主要功能
阴极荧光成像、EBIC成像
技术指标
配备CL和EBIC探测器
应用领域
缺陷发光特性、结特性分析
咨询与预约
江苏第三代半导体研究院有限公司
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