设备介绍
EBSD EBSD（电子背散射衍射）
晶体取向分析
主要功能
电子背散射衍射（EBSD）用于对材料的微观晶体学结构进行全面表征。其核心功能是通过分析电子束在样品上产生的衍射花样，获取每一点的晶体取向和物相信息。能够实现相鉴定与相分布分析、晶粒尺寸与形态统计、晶界特性表征、晶体织构（择优取向）分析以及局部应变与变形程度评估
技术指标
EBSD系统的性能指标主要取决于探测器与软件：
空间分辨率：常规块状样品EBSD为25～200 nm；透射模式（TKD）可达2～20 nm
角度精度：常规变换标定约为0.1°～0.5°
空间分辨率：常规块状样品EBSD为25～200 nm；透射模式（TKD）可达2～20 nm
角度精度：常规变换标定约为0.1°～0.5°
应用领域
金属与合金：晶粒尺寸检测、再结晶过程分析、变形机制研究、织构分析、失效分析等 半导体与微电子：集成电路等先进封装结构的晶体取向、应力与缺陷分析
咨询与预约
江苏第三代半导体研究院有限公司
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电话：15111145911
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