设备介绍
PFM PFM（压电力显微镜）
压电响应成像
主要功能
铁电/压电材料表征：电畴结构、测量压电系数d33、电滞回线蝴蝶曲线、研究极化翻转动力学。
技术指标
压电材料在外加电场作用下会产生局域机械形变（伸长 / 收缩），称为逆压电效应；
PFM 就是利用 AFM 导电探针施加交变电场，探测样品微小振动，表征纳米尺度极化分布。
可获得：表面形貌图 + PFM 振幅图 + PFM 相位图，实现形貌与铁电畴一一对应关联。
PFM 就是利用 AFM 导电探针施加交变电场，探测样品微小振动，表征纳米尺度极化分布。
可获得：表面形貌图 + PFM 振幅图 + PFM 相位图，实现形貌与铁电畴一一对应关联。
应用领域
铁电 / 压电功能陶瓷与薄膜PZT、BaTiO₃、BiFeO₃、KNLN、PMN-PT 等； 观测铁电畴形貌、畴壁分布、畴尺寸、畴翻转行为； 研究薄膜厚度效应、界面极化、老化与疲劳机制；用于压电传感器、驱动器、能量收集材料研发。
咨询与预约
江苏第三代半导体研究院有限公司
中国江苏苏州工业园区金鸡湖大道99号纳米城东北区38栋
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