设备介绍
KPFM KPFM（开尔文探针力显微镜）
表面电势分布成像
主要功能
表面电势二维 / 三维映射，同步采集形貌图 + 表面电势图，实现形貌与电学信号精准一一对应； 定量获取针尖–样品接触电势差，换算材料相对功函数分布；
技术指标
原理简述：基于针尖与样品间接触电势差（CPD）产生的静电力，通过锁相放大与反馈回路补偿电势差，得到样品表面电势分布，换算得到功函数；可同步采集形貌与电势信息，实现纳米尺度表面电学性质无损表征。
应用领域
纳米尺度电输运研究：表征局域导电性、寻找漏电路径、分析导电机制 1. 光伏与光催化材料 钙钛矿薄膜、有机光伏异质结、TiO₂、二维光催化材料；研究异质结内建电场、光生电荷分离、缺陷处电荷俘获、界面能带排列、表面光电压。 2. 二维材料与范德华异质结 石墨烯、MoS₂、WSe₂、In₂Se₃等；表征掺杂效应、层间电荷转移、金属 / 二维材料接触势垒、畴边界电势、界面能带弯曲。 3. 半导体器件、微电子、FET 晶体管 半导体薄膜、芯片有源区、晶体管沟道；观测器件通电状态电势分布、接触电阻区域、耗尽层、缺陷漏电位置。 4. 铁电 / 压电 / 多铁材料（常与 PFM 联用）
咨询与预约
江苏第三代半导体研究院有限公司
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