设备介绍
FIB-CROSS 高阶FIB（器件横截面）
切割：器件横截面/SEM/SEM-EDX
主要功能
器件横截面制备、SEM成像、EDS元素分析
技术指标
双束系统，配备EDS探测器
应用领域
半导体器件结构分析
咨询与预约
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