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设备介绍

SSRM SSRM（扫描扩展电阻显微镜）

扩展电阻分布成像

主要功能

扩展电阻分布测量

技术指标
金刚石探针，高压力模式
应用领域

二维电阻率分布

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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