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设备介绍

STRESS 薄膜应力/翘曲测试

薄膜应力、晶圆翘曲测量


主要功能

薄膜应力、晶圆翘曲测量(常温/80度/60度)

技术指标
多温度点测量
应用领域

薄膜应力评估

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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