椭偏仪单点测试
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设备介绍

ELLIP-POINT 椭偏仪单点测试

薄膜厚度、光学常数测量


主要功能

薄膜厚度、光学常数测量

技术指标
M-2000DI 椭圆偏振测量仪
光谱有效范围:193-1690nm连续可调;
入射角范围:手动角45-90度,自动角40-90度;
光谱分辨率:0.5 nm;
配有自动相位补偿器,实现Δ在0~360°范围内的准确测量
应用领域

薄膜厚度、光学常数测量

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