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设备介绍

PIPS PIPS（精密离子抛光系统）

抛光：机械减薄+Ar+离子减薄

主要功能

机械减薄、氩离子减薄

技术指标
低角度离子减薄
应用领域

TEM样品最终减薄

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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