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设备介绍

ILION ILion+（离子研磨系统）

抛光：器件横截面

主要功能

器件横截面离子研磨抛光

技术指标
截面离子研磨
应用领域

器件截面样品制备

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江苏第三代半导体研究院有限公司

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