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步进式光刻机 Stepper
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 2000.0元/小时
预约上机
  • 2000 小时
委托加工
  • 2500 小时
光刻

步进式光刻机 Stepper

型号：Nikon i10

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

光电子、功率电子MEMS等器件工艺研发。

技术指标
1、样品尺寸:2英寸
2、样品厚度:350-1000 μm
3、分辨率:0.5μm
4、套刻精度:130nm
5、 步进精度:0.07μm
6、视场:20mm×20mm
7、特定套刻标记
8、光源:i线365nm波段
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工艺案例
步进式光刻机 Stepper工艺案例

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