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接触式光刻机 Aligner（MA6）
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 1000元/小时（0.5h起约）
预约上机
  • 1000 小时
委托加工
  • 1400 小时
光刻

接触式光刻机 Aligner（MA6）

型号：SUSS MA6

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

光电子、功率电子MEMS等器件工艺研发。

技术指标
1、样品尺寸: 2-8英寸
2、样品厚度: 0.1mm-6mm
3、最高分辨率：2μm
4、曝光波长: 365nm
5、光强非均匀性: ≤±3%
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工艺案例
接触式光刻机 Aligner（MA6）工艺案例

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