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高温氧化炉 HTOF
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 500元/小时(标准湿法氧化3h ,升降温5.5h，7h起约)
预约上机
  • 500 小时
委托加工
  • 700 小时
微纳加工

高温氧化炉 HTOF

型号：S200-2F/0X

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

应用于MEMS、生物芯片等领域的硅片、碳化硅等材料表面的氧化。

技术指标
1、样品大小:8英寸以下兼容
2、均匀性:片内均匀性不高于±1.5%；片间均匀性不高于±2%；批间均匀性不高于±2%
3、温度:700-1100℃
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高温氧化炉 HTOF工艺案例

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