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快速退火炉 RTP
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 800元/小时(0.5h起约)
预约上机
  • 800 小时
委托加工
  • 1120 小时
微纳加工

快速退火炉 RTP

型号：SA-8

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

用于晶圆离子注入后的高温激活、退火等热处理工艺。

技术指标
1、样品尺寸:8英寸向下兼容
2、温度范围:室温-1250℃
3、控制温度稳定性:±1℃
4、最大升降温速率:150℃/sec
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