收费与计费
计费方式:
按时长计费
单价:
400元/小时（0.5h起约）
预约上机
- 400 小时
委托加工
- 560 小时
测试
台阶仪 PRO
型号：Dektak XT
设备介绍
暂无设备介绍
主要用途
用于监测半导体晶片上的沉积、蚀刻薄膜厚度； 测量光刻、蚀刻后的台阶高度，验证图案转移精度。
技术指标
1、样品尺寸：6英寸向下兼容
2、测量技术：探针式轮廓测量（接触模式）
3、台阶高度重复性：＜4Å（1σ，1μm垂直范围）
4、垂直扫描范围：1mm
5、垂直分辨率：最高1Å（6.5μm测量范围内）
6、扫描长度范围：55mm（2英寸）
7、探针压力：1-15mg
8、探针曲率半径：2μm
2、测量技术：探针式轮廓测量（接触模式）
3、台阶高度重复性：＜4Å（1σ，1μm垂直范围）
4、垂直扫描范围：1mm
5、垂直分辨率：最高1Å（6.5μm测量范围内）
6、扫描长度范围：55mm（2英寸）
7、探针压力：1-15mg
8、探针曲率半径：2μm
工艺案例
暂无案例描述
咨询服务
联系我们
电话：15111145911
邮箱：rdai2021@iasemi.cn