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薄膜应力仪 FST
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 1000元/小时
预约上机
  • 1000 小时
委托加工
  • 1400 小时
测试

薄膜应力仪 FST

型号：FST5000-M8

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

检测晶圆薄膜（如SiO₂、Si₃N₄）的残余应力，避免因应力过大导致的膜裂、膜剥离、膜层皱褶等问题，提升器件稳定性。

技术指标
1、应力测量范围：1MPa-10000MPa（压/拉应力）
2、曲率半径测试范围：2-1000m
3、扫描最小步长：0.1mm
4、样品尺寸：最大8英寸（向下兼容）
5、重复精度（曲率半径）：≤1%（20m）、≤2.5%（100m）
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工艺案例
薄膜应力仪 FST工艺案例

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