工艺设备列表

提供先进的第三代半导体器件工艺加工设备

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全部设备 光刻 刻蚀 镀膜 微纳加工 清洗 测试
手动探针台 PT
手动探针台 PT

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300元/小时（0.5h起约）
半自动探针台 SPT
半自动探针台 SPT

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500元/小时（0.5h起约）
台阶仪 PRO
台阶仪 PRO

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400元/小时（0.5h起约）
薄膜电阻测试仪 4PP
薄膜电阻测试仪 4PP

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400元/小时（0.5h起约）
薄膜应力仪 FST
薄膜应力仪 FST

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1000元/小时
电致发光光谱仪 EL
电致发光光谱仪 EL

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1400元/小时（0.5h起约）
椭圆偏振光谱仪 SE
椭圆偏振光谱仪 SE

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800.0元/小时
霍尔测试仪 Hall
霍尔测试仪 Hall

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1200元/小时（0.5h起约）