收费与计费
计费方式:
按时长计费
单价:
1000元/小时 （0.5h起约）
预约上机
- 1000 小时
委托加工
- 1400 小时
刻蚀
电感耦合等离子体刻蚀机 ICP1
型号：GSE V200
设备介绍
暂无设备介绍
主要用途
用于刻蚀GaAs、InP等材料。
技术指标
1、样品尺寸：6英寸向下兼容
2、本底真空：0.006 Pa
3、上电极可用功率范围：150-1200W(额定1500W、13.56 MHz)
4、下电极可用功率范围：5-250W(额定300W、13.56 MHz)
5、工艺气体：Ar、O2、Cl2、BCl3、N2、HBr、CH4、H2
6、片内/片外均匀性：≤3%
2、本底真空：0.006 Pa
3、上电极可用功率范围：150-1200W(额定1500W、13.56 MHz)
4、下电极可用功率范围：5-250W(额定300W、13.56 MHz)
5、工艺气体：Ar、O2、Cl2、BCl3、N2、HBr、CH4、H2
6、片内/片外均匀性：≤3%
工艺案例
暂无案例描述
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