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原子层刻蚀机 ALE
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 1000元/小时 （0.5h起约）
预约上机
  • 1000 小时
委托加工
  • 1400 小时
刻蚀

原子层刻蚀机 ALE

型号：Winline-A200

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

用于GaN、AlGaN刻蚀；可实现ALE刻蚀功能。

技术指标
1、样品尺寸:6英寸向下兼容
2、配置气体:Cl2、BCl3、Ar、N2、O2、SF6、CF4
3、ICP功率:2500W
4、Bais功率:500W
5、腔体最高温度:200℃
6、片内/片外非均匀性:≤±3%
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工艺案例
原子层刻蚀机 ALE工艺案例

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