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离子束刻蚀机 IBE
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 500元/小时 （0.5h起约）
预约上机
  • 500 小时
委托加工
  • 700 小时
刻蚀

离子束刻蚀机 IBE

型号：IBE-200

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

用于刻蚀加工多种金属、合金、非金属等材料。

技术指标
1、样品尺寸：6英寸向下兼容
2、本底真空：<9E-5 Pa
3、束流：0-200mA
4、离子能量：0-1000 eV
5、片内/片外均匀性：≤5%
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工艺案例
离子束刻蚀机 IBE工艺案例

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