光致发光光谱仪 PL
收费与计费
计费方式: 按点数计费
单价: 1400/小时,委托700元/片(0.5h起约)

预约上机
  • 1400 小时

委托加工
  • 700
测试

光致发光光谱仪 PL

型号:IM1180


设备介绍

暂无设备介绍


主要用途

1、通过PL光谱测量外延片逐点的:峰值波长(WLP)、主波长(WLD)、光谱半宽(HW)、积分光(INT)、峰强度(PI);蓝绿片测量模块还可测量荧光的相对光功率(PD);紫外测量块还可测量HEMT器件的Al组份百分比。 可通过白光测膜厚(THK)、反射率(PR)。


技术指标
1、样品尺寸:8英寸及以下兼容
2、激光器:213nm 266nm 375nm
3、波长范围:200nm-1000nm