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超声显微镜 SAM
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 600元/小时,委托300元/片
预约上机
  • 600 小时
委托加工
  • 300 片
测试

超声显微镜 SAM

型号：PVA301

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

适用于晶圆键合缺陷检测。

技术指标
1、扫描轴行程：320x320mm
2、Z轴行程：0–100 mm
3、重复定位精度：±0.1μm
4、扫描速度：0.01-0.05 m/s
5、加速度：可设定，典型值1-2 m/s²
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