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晶圆平坦度测量仪 WGM
收费与计费
计费方式: 按点数计费
单价: 500元/片（仅委托代工）
预约上机
该设备暂不支持预约上机
委托加工
  • 500 片
测试

晶圆平坦度测量仪 WGM

型号：Corning Tropel

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

1、能够快速准确地对各种表面平面度和其他表面参数进行精密测量。 2、能够从三维、拓扑、合格率、分布、平面、局部平面度、斜度等方面系统分析。

技术指标
1、样品尺寸：8英寸向下兼容
2、样品厚度300-1500μm
3、测量精度及重复性：重复性误差≤25μm；精确度0.1μm
测量模式：斜入射激光干涉，非接触、无损伤测量
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