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晶圆表面缺陷检测仪 WSI
收费与计费
计费方式: 按点数计费
单价: 800元/片（仅委托代工）
预约上机
该设备暂不支持预约上机
委托加工
  • 800 片
测试

晶圆表面缺陷检测仪 WSI

型号：Candela 8500

设备介绍

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主要用途

适用于晶圆表面颗粒沾污的检测、晶圆表面划痕的检测及晶圆表面晶体缺陷的检测。

技术指标
1、样品尺寸：8英寸向下兼容
2、样品厚度：300-1500μm
3、光源：405nm和355nm波长激光器
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工艺案例
晶圆表面缺陷检测仪 WSI工艺案例

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