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自动光学检测 AOI
收费与计费
计费方式: 按点数计费
单价: 800元/片（仅委托代工）
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该设备暂不支持预约上机
委托加工
  • 800 片
测试

自动光学检测 AOI

型号：E3200

设备介绍

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主要用途

1、可用于检测并区分颗粒、凹坑、凸起、划伤、污点、裂纹、PL黑点、PL Scratch、PL crystal缺陷等表面及荧光缺陷 2、可用于检测GaN衬底及PSS基GaN、Si基GaN及SiC基GaN等外延片的表面及荧光缺陷。

技术指标
1、样品尺寸：8英寸向下兼容
2、样品厚度：300-1500μm
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