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有机清洗橱 OFH
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 200元/小时；单独委托清洗 700元/轮（不同尺寸片数不同）
预约上机
  • 200 小时
委托加工
费用需手动评估
清洗

有机清洗橱 OFH

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

去除半导体晶圆表面光刻胶残膜、CMP 抛光液有机添加剂及油脂杂质。

技术指标
1、药液：N-甲基吡咯烷酮，丙酮，异丙醇；
2、配备超声波清洗机；
3、支持加热、浸泡、喷淋、超声波等组合工艺
4、颗粒度增量：≤30ea（0.3μm）
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