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有机清洗橱 OFH
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 200.0元/小时
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费用需手动评估
清洗

有机清洗橱 OFH

设备介绍

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主要用途

去除半导体晶圆表面光刻胶残膜、CMP 抛光液有机添加剂及油脂杂质。

技术指标
1、药液：N-甲基吡咯烷酮，丙酮，异丙醇；
2、配备超声波清洗机；
3、支持加热、浸泡、喷淋、超声波等组合工艺
4、颗粒度增量：≤30ea（0.3μm）
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