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碱洗通风橱 BFH
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 200元/小时；单独委托清洗 702元/轮（不同尺寸片数不同）
预约上机
  • 200 小时
委托加工
费用需手动评估
清洗

碱洗通风橱 BFH

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

去除晶圆表面光刻胶、有机残留及部分颗粒污染物，适配光刻后去胶、有机污染清洗等工序。

技术指标
1、药液：SC1，TMAH等
2、配备双槽，温度可控可调
3、支持浸泡、喷淋、超声波等组合工艺
4、颗粒度增量：≤30ea（0.3μm）
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