工艺设备列表

提供先进的第三代半导体器件工艺加工设备

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有机清洗橱 OFH
有机清洗橱 OFH

清洗

200元/小时
酸洗通风橱 AFH
酸洗通风橱 AFH

清洗

200元/小时
碱洗通风橱 BFH
碱洗通风橱 BFH

清洗

200元/小时
全自动无机清洗机 RCA
全自动无机清洗机 RCA

清洗

700/轮
晶圆真空包装机 WVP
晶圆真空包装机 WVP

清洗

5元/次
等离子去胶机 PA（SINDIN）
等离子去胶机 PA（SINDIN）

清洗

150元/小时
等离子去胶机 PA（March）
等离子去胶机 PA（March）

清洗

150元/小时
共 7 台设备