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酸洗通风橱 AFH
收费与计费
计费方式: 按时长计费
单价: 200元/小时；单独委托清洗 701元/轮（不同尺寸片数不同）
预约上机
  • 200 小时
委托加工
费用需手动评估
清洗

酸洗通风橱 AFH

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

去除晶圆表面金属离子、氧化物、颗粒等污染物。

技术指标
1、药液：SC2、SPM、BOE等
2、配备功率可调的超声波清洗剂
3、支持加热、浸泡、喷淋、超声波等组合工艺
4、颗粒度增量：≤30ea（0.3μm）
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