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全自动无机清洗机 RCA
收费与计费
计费方式: 按点数计费
单价: 700/轮（2-8英寸，最多25片） 仅委托代工
预约上机
该设备暂不支持预约上机
委托加工
费用需手动评估
清洗

全自动无机清洗机 RCA

设备介绍

暂无设备介绍

主要用途

去除晶圆表面有机残留、颗粒、金属离子、氧化物等污染物。

技术指标
1、样品尺寸：2-8英寸
2、槽体药液：SPM，SC1，SC2，DHF
3、SC1配备兆声，SC1的QDR槽配备超声
4、配备热氮气烘干
5、颗粒度增量：≤30ea（0.3μm）
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