收费与计费
计费方式:
按时长计费
单价:
500元/小时
预约上机
- 500 小时
委托加工
- 700 小时
附加收费说明
材料费:180元/10nm(Au 及合金)或 75元/10nm(Pd、Pt)或10元/10nm(其它材料)
镀膜
电子束蒸发 E-beam（EBX）
型号：EBX-1000
设备介绍
暂无设备介绍
主要用途
用于蒸镀Ti、Cr、Cu、Al、Au、Ni、Pt等金属膜。
技术指标
1.工艺本底真空：5E-4Pa，可达极限真空2E-5Pa
2.真空配置：干泵+低温泵
3.配置电子枪 10KV，坩埚位6个
4.加热温度20-350℃
5.样品尺寸：6英寸向下兼容
6.薄膜非均匀性：≤3%
2.真空配置：干泵+低温泵
3.配置电子枪 10KV，坩埚位6个
4.加热温度20-350℃
5.样品尺寸：6英寸向下兼容
6.薄膜非均匀性：≤3%
工艺案例
暂无案例描述
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