收费与计费
计费方式:
按时长计费
单价:
800元/小时
预约上机
- 800 小时
委托加工
- 1120 小时
附加收费说明
夹具（2寸*45片，4寸27片，6寸18片） Au及其合金：43元/nm； Pd、Pt：34元/nm； 其他金属：（Al、Cr等）2元/nm； 夹具（2寸*7片及以下） Au及其合金：18元/nm； Pd、Pt：15元/nm； 其他金属：（Al、Cr等）1元/nm
镀膜
电子束蒸发 E-beam（ULVAC）
型号：ULVAC ei501z
设备介绍
暂无设备介绍
主要用途
用于蒸镀Ti、Cr、Cu、Al、Au、Ni、Pt等金属膜。
技术指标
1.工艺本底真空：5E-4Pa，可达极限真空2E-5Pa
2.真空配置：干泵+低温泵
3.配置电子枪 10KV，坩埚位6个
4.加热温度20-350℃
5.样品尺寸：6英寸向下兼容
6.薄膜非均匀性：≤3%
2.真空配置：干泵+低温泵
3.配置电子枪 10KV，坩埚位6个
4.加热温度20-350℃
5.样品尺寸：6英寸向下兼容
6.薄膜非均匀性：≤3%
工艺案例
暂无案例图片
暂无案例描述
咨询服务
联系我们
电话：15111145911
邮箱：rdai2021@iasemi.cn