收费与计费
计费方式:
按时长计费
单价:
800元/小时
预约上机
- 800 小时
委托加工
- 1120 小时
附加收费说明
材料费:180元/10nm(Au 及合金)或75元/10nm(Pd、Pt)或10元/10nm(其它材料)
镀膜
磁控溅射 Sputter（DISCOVERY18）
型号：DISCOVERY18
设备介绍
暂无设备介绍
主要用途
用于ITO等透明导电薄膜及金属氧化物的高温沉积。
技术指标
1、样品尺寸:8英寸以下兼容
2、靶枪数量：3（四英寸靶）
3、配置气体：Ar，O2
4、沉积材料:ITO等
5、沉积温度:最高850℃
6、片内均匀性:<5%
7、片间均匀性:<3%
2、靶枪数量：3（四英寸靶）
3、配置气体：Ar，O2
4、沉积材料:ITO等
5、沉积温度:最高850℃
6、片内均匀性:<5%
7、片间均匀性:<3%
工艺案例
暂无案例图片
暂无案例描述
咨询服务
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