收费与计费
计费方式:
按时长计费
单价:
2000元/小时
预约上机
- 2000 小时
委托加工
- 2800 小时
附加收费说明
材料费:150元/10nm(Au 及合金)或75元/10nm(Pd、Pt)或10元/10nm(其它材料)
镀膜
八英寸磁控溅射 Sputter
型号：PHOEBUS
设备介绍
暂无设备介绍
主要用途
用于Ti、Al、Ni、TiN等金属薄膜快速沉积，具备preclean功能。
技术指标
1、工艺本底真空:1E-7mTorr
可达极限真空5E-8mTorr
2、真空配置:干泵+分子泵
3、单腔单靶，最多可配置4腔
4、样品尺寸:8英寸
5、薄膜非均匀性:≤±3%
6、溅射速率：5-30 Å/s
可达极限真空5E-8mTorr
2、真空配置:干泵+分子泵
3、单腔单靶，最多可配置4腔
4、样品尺寸:8英寸
5、薄膜非均匀性:≤±3%
6、溅射速率：5-30 Å/s
工艺案例
暂无案例图片
暂无案例描述
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